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擴(kuò)散硅壓力變送器的遷移補(bǔ)償分析

點(diǎn)擊次數(shù):4054  更新時(shí)間:2017-11-24
  壓力變送器的被測(cè)介質(zhì)的兩種壓力通入高、低兩壓力室,低壓室壓力采用大氣壓或真空,作用在δ元(即敏感元件)的兩側(cè)隔離膜片上,通過隔離片和元件內(nèi)的填充液傳送到測(cè)量膜片兩側(cè)。
  當(dāng)擴(kuò)散硅壓力變送器壓力信號(hào)作用于傳感器時(shí),壓力傳感器將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào),經(jīng)差分放大和輸出放大器放大,zui后經(jīng)V/A電壓電流轉(zhuǎn)換成與被測(cè)介質(zhì)(液體)的液位壓力成線性對(duì)應(yīng)關(guān)系的4-20mA標(biāo)準(zhǔn)電流輸出信號(hào)。
  擴(kuò)散硅壓力變送器是以壓阻式傳感器為檢測(cè)元件的一種壓力檢測(cè)儀表,其zui大的特點(diǎn)是動(dòng)態(tài)響應(yīng)快,測(cè)量精度高,這也是許多其他方式的傳感器*的,但它畢竟是半導(dǎo)體材料,它要求傳感器的工作環(huán)境溫度相對(duì)穩(wěn)定,不應(yīng)波動(dòng)范圍太大。
  由于其對(duì)大范圍溫度變化的敏感性,所以在制作時(shí),采用四個(gè)阻值相等的擴(kuò)散電阻,并連接成惠斯頓電橋式,實(shí)現(xiàn)硬件的溫度補(bǔ)償。但如果溫度變化較大,盡管擴(kuò)散硅壓力變送器本身已進(jìn)行硬件溫度補(bǔ)償,但在實(shí)際使用時(shí),隨著環(huán)境溫度的較大變化,檢測(cè)精度也受到影響。所以在采用這類變送器時(shí)。為了進(jìn)一步提高測(cè)量精度,可以采用零點(diǎn)遷移補(bǔ)償法,也就是在實(shí)際液位為0時(shí)變送器的輸出狀態(tài)。擴(kuò)散硅壓力變送器的零點(diǎn)遷移量隨溫度的變化不是固定值,而是按一規(guī)律變化,為了提高檢測(cè)精度可以采用零點(diǎn)遷移隨溫度變化補(bǔ)償法。
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